微机电系统(MEMS)过滤器具有能够减小当用作无线电等电子系统的一部分时所需的尺寸,重量和功率;但是,MEMS型过滤器具有限制。例如,厚度MEMS型过滤器(例如,厚度延伸模式压电谐振器)通常限于每个基板管芯的单个工作频率。而且,光刻确定的工作频率谐振器不能满足低阻抗规范。

本发明是一种压电谐振器装置,其包括具有图案化结构的顶部电极层;顶层附近的顶部压电层;与顶层相对的顶部压电层相邻的中间金属层;邻近中间层的底部压电层,与顶部压电层相对;和具有图案化结构的底部电极层,与底部压电层相邻,与中间层相对。

顶层包括与第二组电极相互作用的电极。顶层中的一个电极和底层中的一个电极耦合到触点,并且顶层中的另一个电极和底层中的电极中的一个耦合到第二触点。

压电谐振器装置包括悬挂的一组层,悬挂使用。该组层包括由邻近压电层的外部的中间金属层和金属电极层分开的两个压电层。金属电极层具有彼此相关的电极图案。顶层和底层和中金属层上的金属电极用于施加,感测或施加和感测两个压电层中的每一个的电势。压电层的压电效应将每层的电位转换为层中的机械应力。压电层的逆压电效应在层上的每个压电层中的机械应力转换为电势。

通过在装置的固有频率下改变施加的电场,可以在机械谐振下在机械谐振下操作谐振器结构。在各种实施例中,压电层由以下中的一种:氮化铝,氧化锌,钛酸锆酸铅,石英,砷化镓,铌酸锂,或任何其他合适的材料。在各种实施例中,两个压电层包括不同的材料或由相同的材料构成。电极的间隔和电极的连接和中间金属层确定谐振器结构的频率响应。

这项工作是由Philip J. Stephanou和Justin P. Black Of Harmonic Devices,Inc。为Johnson Space Center完成的工作。美国宇航局正在寻求合作伙伴通过联合合作研发进一步发展这项技术。有关这项技术的更多信息,并探索机会,请联系此电子邮件地址受到垃圾邮件程序的保护。您需要启用Javascript来查看它。。MSC-25713-1


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本文首先出现在2018年11月的问题yabovip16.com杂志。

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